发明名称 Method of making semiconductor devices
摘要
申请公布号 EP0507434(B1) 申请公布日期 1997.07.16
申请号 EP19920300893 申请日期 1992.02.03
申请人 AT&T CORP. 发明人 FULLOWAN, THOMAS ROBERT;PEARTON, STEPHEN JOHN;REN, FAN
分类号 H01L21/3065;H01L21/302;H01L21/308;H01L21/331;H01L29/205;H01L29/73;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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