发明名称 HANDOTAISHUSEKIKAIRO
摘要
申请公布号 JP2630138(B2) 申请公布日期 1997.07.16
申请号 JP19910284637 申请日期 1991.10.30
申请人 FUJITSU KK 发明人 MIZUTANI TOORU
分类号 H01L21/66;H01L21/82;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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