激光束的发送和眼跟踪系统

摘要

一表面处理的激光束发送和跟踪系统。激光器(500)产生沿一光路的具有适于处理一表面的能级的激光(502)。一光平移器(520)将该光路移至一最终光路。一光角度调节器(310、316、320、326)改变最终光路相对于初始光路的角度，使激光入射到要处理的表面。一运动传感器(100)将光能(101-T)传输到该表面并通过光角度调节器接受来自该表面的反射光能(101-R)。光能通过光角度调节器沿与移动后的光束平行的路径传播。运动传感器检测该表面相对于初始光路的运动并且产生指示运动的误差的控制信号。光角度调节器响应误差控制信号以改变最终光路的角度。

主权项

1.一剥蚀一表面的激光束发送和跟踪系统，包括：激光装置，用于产生具有适于将所述表面剥蚀为一特定形状的能量的、沿一初始光路的激光；一个光平移器，用于将所述初始光路平移到与所述初始光路平行的最终光路； 一个光角度调节器，用于改变所述最终光路与上述初始光路的相对角度，使所述激光入射到所述表面；一个传感器，用于检测所述表面相对于所述光轴运动的可测量量，并生成指示上述运动可测量误差的控制信号，所述光角度调节器响应所述误差控制信号，以改变所述最终光路的角度。