干涉仪及其信号处理装置

摘要

用于测量表面或外形或纹理的装置包括一个光栅干涉仪，该干涉仪包括装在一个枢轴支承臂上的一个弯曲光栅，在支承臂的另一端装有一个探头以和一个表面相接触，探头是由一个电磁线圈绕在一个衔铁上或由一对这样的偏置装置施加偏置力而与表面接触的。一个信号处理线路包括一个条纹计数器和一个内插器，内插器包括一个数字计数器。

主权项

1.一种干涉仪装置，包括：用以提供光束的光源；用以接收从所述光源发出的光，产生大小相等方向相反级的第一和第二衍射光束的衍射光栅；以及用以使光射向所述衍射光栅及接收所述衍射光栅所衍射的光的棱镜；其特征在于，所述棱镜包括：用以反射第一偏振面内的光和透射第二偏振面内的光的中心平面，用以接收来自所述衍射光栅的第一和第二衍射光栅的表面，一对在所述中心平面周围对称配置的第一和第二侧表面，用以使第一和第二衍射光束分别反射到中心平面，从而由中心平面反射的第一反射衍射光束的第一偏振面光和由中心平面透射的第二反射衍射光束的第二偏振面光形成第一合成光束，由中心平面所透射的第一反射衍射光束的第二偏振面光和由中心平面所反射的第二反射衍射光束的第一偏振面光形成第二合成光束，用以允许第一合成光束从所述棱镜向第一检偏镜传播的第一出射面，以及用以允许第二合成光束从所述棱镜向第二检偏镜传播的第二出射面，所述光源和所述棱镜布置成使得光束入射到所述衍射光栅上，而不在棱镜内优先反射。