| 发明名称 | 偏心进气化学气相沉积炉 | ||
| 摘要 | 一种偏心进气化学气相沉积炉，由炉体，进气口，芯模，发热体，出气口等部分组成，出气口设置于炉体顶部中心位置或底部中心位置，其特征在于：进气口设置于与出气口相对的偏心位置。本实用新型可以沉积出大尺寸且壁厚更加均匀的PBN坩埚。 | ||
| 申请公布号 | CN2257823Y | 申请公布日期 | 1997.07.16 |
| 申请号 | CN96225269.7 | 申请日期 | 1996.01.29 |
| 申请人 | 赵林 | 发明人 | 赵林 |
| 分类号 | C23C16/00 | 主分类号 | C23C16/00 |
| 代理机构 | 中国科学院沈阳专利事务所 | 代理人 | 张晨 |
| 主权项 | 1.一种偏心进气化学气相沉积炉，由炉体(1)，进气口(2)，芯模(3)，发热体(4)，出气口(5)等部分组成，出气口(5)设置于炉体(1)顶部中心位置或底部中心位置，其特征在于：进气口(2)设置于与出气口(5)相对的偏心位置。 | ||
| 地址 | 辽宁省沈阳市沈河区文化路72号金属所 | ||