| 发明名称 |
IMPROVED BORESIGHT WITH SINGLE-BEAM TRIAXIAL MEASUREMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0783663(A1) |
申请公布日期 |
1997.07.16 |
| 申请号 |
EP19950938138 |
申请日期 |
1995.09.29 |
| 申请人 |
DRS/PHOTRONICS CORPORATION |
发明人 |
GRODEWALD, KARL |
| 分类号 |
G01B11/26;G01C1/00;H01L31/16;(IPC1-7):G01B11/26 |
主分类号 |
G01B11/26 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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