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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09186245(A) 申请公布日期 1997.07.15
申请号 JP19960343886 申请日期 1996.12.24
申请人 GENDAI DENSHI SANGYO KK 发明人 RI KICHIKOU
分类号 H01L27/092;H01L21/8238;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
主权项
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