发明名称 MASK AND JIG FOR FORMING THIN FILM USING THE SAME
摘要
申请公布号 JPH09184061(A) 申请公布日期 1997.07.15
申请号 JP19960000253 申请日期 1996.01.05
申请人 MURATA MFG CO LTD 发明人 MIZOI AKIRA
分类号 C23C14/04;(IPC1-7):C23C14/04 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
主权项
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