发明名称 |
SOFT METAL CONDUCTOR AND FORMING METHOD THEREOF |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09186158(A) |
申请公布日期 |
1997.07.15 |
申请号 |
JP19950339439 |
申请日期 |
1995.12.26 |
申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP (IBM) |
发明人 |
RAJIBU BUASANTO JIYOSHII;MANU JIYAMUNADAASU TEJIWAANII |
分类号 |
H01L21/28;H01L21/304;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 |
主分类号 |
H01L21/28 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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