发明名称 PRODUCTION OF SILICON TETRAFLUORIDE
摘要
申请公布号 JPH09183608(A) 申请公布日期 1997.07.15
申请号 JP19950353386 申请日期 1995.12.28
申请人 AICHI STEEL WORKS LTD 发明人 KOJIMA KOREHIKO;OKUDA TAKESHI
分类号 C01B33/107;(IPC1-7):C01B33/107 主分类号 C01B33/107
代理机构 代理人
主权项
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