| 发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09186233(A) |
申请公布日期 |
1997.07.15 |
| 申请号 |
JP19950341863 |
申请日期 |
1995.12.27 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
YAHIRO KAZUYUKI;ITONAGA SHUJI;TOMITA KENICHI |
| 分类号 |
H01L21/768;H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/768 |
主分类号 |
H01L21/768 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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