发明名称 MANUFACTURE OF COMPOUND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09186176(A) 申请公布日期 1997.07.15
申请号 JP19950343400 申请日期 1995.12.28
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 ASANO TETSUO
分类号 H01L21/205;H01L21/338;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
地址