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发明名称 CLEANING METHOD OF SEMICONDUCTOR PRODUCING APPARATUS AND MANUFACTURING METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09186149(A) 申请公布日期 1997.07.15
申请号 JP19950342268 申请日期 1995.12.28
申请人 FUJITSU LTD 发明人 TAKAHASHI MUNENORI
分类号 C23C16/44;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/31;H01L21/306 主分类号 C23C16/44
代理机构 代理人
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