| 发明名称 |
PART HAVING FLAT BOTTOM FOR SYSTEM FOR FLUID AND GAS AND STRUCTURE OF IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09184577(A) |
申请公布日期 |
1997.07.15 |
| 申请号 |
JP19960316521 |
申请日期 |
1996.11.27 |
| 申请人 |
APPLIED MATERIALS INC |
发明人 |
UIRIAMU ERU MONOFUSUKII JIYUNIA;EDOWAADO EMU KAZOROUSUKII |
| 分类号 |
F16K27/00;H01J37/32;H01L21/02;(IPC1-7):F16K27/00 |
主分类号 |
F16K27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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