发明名称 SCANNING ELECTRON MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH09185949(A) 申请公布日期 1997.07.15
申请号 JP19950343830 申请日期 1995.12.28
申请人 JEOL LTD 发明人 TAMURA NOBUAKI
分类号 H01J37/22;(IPC1-7):H01J37/22 主分类号 H01J37/22
代理机构 代理人
主权项
地址