| 发明名称 |
BILDERZEUGUNG UND KONTROLLE EINES PROZESSES, DER EINEN FOKUSSIERTEN IONENSTRAHL VERWENDET |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AT155286(T) |
申请公布日期 |
1997.07.15 |
| 申请号 |
AT19890903363T |
申请日期 |
1989.02.09 |
| 申请人 |
MICRION CORPORATION |
发明人 |
WARD, BILLY, W.;WARD, MICHAEL, L. |
| 分类号 |
H01J37/256;G01Q30/12;H01J37/28;H01J37/30;H01J37/305;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H01J37/305 |
主分类号 |
H01J37/256 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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