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发明名称 METHOD OF SORTING DEFECT OF SEMICONDUCTOR WAFER AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH09186208(A) 申请公布日期 1997.07.15
申请号 JP19960261869 申请日期 1996.10.02
申请人 KOBE STEEL LTD;TEXAS INSTR JAPAN LTD;K T I SEMICONDUCTOR KK 发明人 MORIMOTO TSUTOMU;SUMINOE SHINGO;GOTO YUICHIRO;TAKAHASHI EIJI;KANBE AKIFUMI;OKAMOTO HIROSHI
分类号 G01B11/30;G01N21/88;G01N21/93;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
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