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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH09186244(A) 申请公布日期 1997.07.15
申请号 JP19970008647 申请日期 1997.01.21
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KAGAMI SHOICHI
分类号 H01L29/78;H01L21/8234;H01L27/088;(IPC1-7):H01L21/823 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
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