| 发明名称 |
COATING DEVICE AND METHOD THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09173927(A) |
申请公布日期 |
1997.07.08 |
| 申请号 |
JP19950337111 |
申请日期 |
1995.12.25 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
URAKUCHI MASAHIRO;KAMIMURA MITSUGI |
| 分类号 |
B05D1/28;B05C1/02;H01L21/027;(IPC1-7):B05C1/02 |
主分类号 |
B05D1/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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