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发明名称 ASSEMBLY OF SPUTTERING TARGET
摘要
申请公布号 JPH09176849(A) 申请公布日期 1997.07.08
申请号 JP19960338363 申请日期 1996.12.18
申请人 APPLIED MATERIALS INC;APPLIED KOMATSU TECHNOL KK 发明人 JIYOSEFU UIITOMAN;RICHIYAADO AANESUTO DEIMAAREI;MANIYUERU HERERA
分类号 C23C14/34;H01J37/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
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