发明名称 APPARATUS AND METHOD FOR PRODUCING COMPOUND SEMICONDUCTOR CRYSTAL
摘要
申请公布号 JPH09175879(A) 申请公布日期 1997.07.08
申请号 JP19950341467 申请日期 1995.12.27
申请人 HITACHI CABLE LTD 发明人 KOBAYASHI KAZUKI;NAKAMORI SHOJI
分类号 C30B11/00;C30B29/42;H01L21/208;(IPC1-7):C30B11/00 主分类号 C30B11/00
代理机构 代理人
主权项
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