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发明名称 METHOD FOR PACKING CONTACT HOLE BY USING ULTRASONIC WAVE AND APPARATUS THEREFOR
摘要
申请公布号 JPH09176830(A) 申请公布日期 1997.07.08
申请号 JP19960331705 申请日期 1996.12.12
申请人 APPLIED MATERIALS INC 发明人 TSUEN SUU;FUUSEN CHIEN
分类号 C23C14/00;H01L21/203;H01L21/28;H01L21/768;(IPC1-7):C23C14/00 主分类号 C23C14/00
代理机构 代理人
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