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发明名称 PROCESS FOR PREFERENTIALLY ETCHING POLYCRYSTALLINE SILICON
摘要
申请公布号 KR970011134(B1) 申请公布日期 1997.07.07
申请号 KR19880014315 申请日期 1988.11.01
申请人 MOTOROLA INC. 发明人 DOCKREY, JASPER WILLIAM
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;(IPC1-7):H01L21/302 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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