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发明名称 REMA-Objektiv für Mikrolithographie-Projektionsbelichtungsanlagen
摘要
申请公布号 DE19548805(A1) 申请公布日期 1997.07.03
申请号 DE19951048805 申请日期 1995.12.27
申请人 FA. CARL ZEISS, 89518 HEIDENHEIM, DE 发明人 FUERTER, GERD, 73479 ELLWANGEN, DE;DINGER, UDO, 73447 OBERKOCHEN, DE;WANGLER, JOHANNES, 89551 KOENIGSBRONN, DE;ITTNER, GERHARD, 73447 OBERKOCHEN, DE
分类号 G02B13/14;G02B13/24;G03F7/20;H01L21/027;(IPC1-7):G02B13/24 主分类号 G02B13/14
代理机构 代理人
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