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发明名称 Ionenbedampfungsverfahren und Vorrichtung
摘要
申请公布号 DE4217450(C3) 申请公布日期 1997.07.03
申请号 DE19924217450 申请日期 1992.05.26
申请人 NKK CORP., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KIBE, HIROSHI, TOKIO/TOKYO, JP;KAGECHIKA, HIROSHI, TOKIO/TOKYO, JP;SEKIGUCHI, TAKESHI, TOKIO/TOKYO, JP
分类号 C23C14/32;C23C14/56;(IPC1-7):C23C14/32;C23C14/06 主分类号 C23C14/32
代理机构 代理人
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