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发明名称 Verfahren zur Entfernung von Polymeren aus Sacklöchern in Halbleitervorrichtungen
摘要
申请公布号 DE69219998(D1) 申请公布日期 1997.07.03
申请号 DE19926019998 申请日期 1992.10.23
申请人 SGS-THOMSON MICROELECTRONICS, INC., CARROLLTON, TEX., US 发明人 NGUYEN, LOI NGOC, DENTON COUNTY, TEXAS 75007, US;LIN, YIH-SHUNG, DENTON COUNTY, TEXAS 75010, US
分类号 H01L21/28;H01L21/02;H01L21/302;H01L21/308;H01L21/3105;H01L21/311;H01L21/3213;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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