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发明名称 EINZELHALBLEITERSCHEIBE BEHäLTER FüR EIN ROBOTER
摘要
申请公布号 DE69219995(D1) 申请公布日期 1997.07.03
申请号 DE19926019995 申请日期 1992.02.25
申请人 FLUOROWARE, INC., CHASKA, MINN., US 发明人 KARL, RANDY, L., CHASKA, MN 55318, US;MAENKE, DALE, A., CHASKA, MN 55318, US
分类号 B65D85/86;H01L21/673;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 B65D85/86
代理机构 代理人
主权项
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