一种在大型异形部件表面涂覆低应力非金属膜的方法

摘要

一种在大型导电工件表面涂覆低应力非金属膜的方法，系采用直流等离子体增强CVD技术，其特征在于：将待涂覆的工件直接与以直流高压为主的电源阴极相接。本发明可在大尺寸异形工件表面同时均匀地涂覆内应力较低、膜厚均匀及与基材粘结较好的类金刚石碳膜，使其适应各种实际应用的需要。

主权项

1.一种在大型导电工件表面涂覆低应力非金属膜的方法，系采用直流等离子体增强CVD技术，其特征在于：将待涂覆的工件直接与以直流高压为主的电源阴极相接。