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发明名称
Method and apparatus for etching a workpiece
摘要
申请公布号
GB9709659(D0)
申请公布日期
1997.07.02
申请号
GB19970009659
申请日期
1997.05.13
申请人
SURFACE TECHNOLOGY SYSTEMS LIMITED
发明人
分类号
C23F1/12;H01J37/32;H01L21/302
主分类号
C23F1/12
代理机构
代理人
主权项
地址
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