具有一个微反射镜的干涉仪及其中的滤光方法

摘要

一种光束测试干涉仪，包括：将光源分为测试与参考光束的分束器，探测干涉图样的图象装置，测试光束反射镜，参考光束微反射镜，和参考光束聚焦装置。微反射镜的横向尺寸小于参考光束中心波瓣的横向尺寸，空间滤光器用以减少象差，包括置于透明基体上的反射器，反射器横向尺寸小于会聚其上的光束空间强度分布中心波瓣的横向尺寸。还提供一种在该测试系统中的滤光方法。本发明可消除象差影响，并且在对光操作中不必改变干涉仪的配置。

主权项

1、一种干涉仪，包括：用来将源光束分成测试光束与参考光束的分束器；用来探测干涉图样的图象装置；置于所述测试光束光路上的，用于向所述图象装置反射所述测试光束的反射镜；置于所述参考光路上的，用于向所述图象装置反射部分所述参考光束的微反射镜；置于所述参考光路上的，在所述分束器和所述微反射镜之间的，用来将所述参考光束会聚于所述微反射镜上的聚焦装置；所述微反射镜的横向尺寸不大于由所述聚焦装置聚焦其上的所述参考光束的中心波瓣的大致横向尺寸；所述测试光束被所述反射镜反射，所述参考光束的一部分被所述微反射镜反射，这样所述反射的测试光束与所述反射的部分参考光束一起入射到所述图象装置并在其上形成可测、的干涉图样。