发明名称 石英玻璃物品之制造方法
摘要 目的:提供一种在高温加热下加压成形石英玻璃体而制造具备突起于平面侧之石英玻璃物品的方法。构成:本发明系将加热温度设成比以往较高之约1800~2000℃俾降低石英玻璃体之粘度,而且由形成突起所用之母模,换言之向顶抗重力之方向一面蓄势弹压微小加压一面施行成形者。由此,因如在无加压实行时藉由自重不变化加压力下,而且加压力系微小如压,因此,石墨框与熔融石英玻璃之接触不会过度增加,可抑制依反应气体之生成及SiC之固着所产生的反玻化作用( devitrification)。
申请公布号 TW309510 申请公布日期 1997.07.01
申请号 TW084107256 申请日期 1995.07.13
申请人 信越石英股份有限公司;福井信越石英股份有限公司 发明人 木村博至;谷山公一;齐藤实;筱宫英一;藤井纪和
分类号 C03B20/00 主分类号 C03B20/00
代理机构 代理人 林志刚 台北巿南京东路二段一二五号七楼;林敏生 台北巿南京东路二段一二五号七楼伟成第一大楼
主权项 1.一种石英玻璃物品之制造方法,系属于以高温加热下加压成形石英玻璃体俾制造在平面侧具有突起之石英玻璃物品的方法,其特征为:在周围具有石墨框之成形空间内,隔着上述石英玻璃体而在下面侧配置与上述突起相对应之母模,在上面侧配置上述玻璃体之承受台,固定上述承受台,将母模一面上昇一面藉由该母模之背面侧蓄势弹压的0.01-1kgf/cm2范围之压力以1750-2100℃之高温加热下实行加压成体石英玻璃者。2.如申请专利范围第1项所述的石英玻璃物品之制造方法,其中,由上述石英玻璃体开始变形以前之温度领域对母模施以预压,在维持该加压下随上述石英玻璃体之软化将母模一面上昇所定距离一面在高温加热下实行加压成形者。3.如申请专利范围第1项所述的石英玻璃物品之制造方法,其中,上述成形空间内温度达到1750-2100℃左右之温度领域的时刻,将母模之移动冲程位置保持所定时间,等待完成石英玻璃体之变形,完成后将上述母模向复原方向下降而实行解除压力者。4.如申请专利范围第1项所述的石英玻璃物品之制造方法,其中,将上述石英玻璃体之昇温速度设定在35-183℃/min,又将上述母模之移动速度设定在2-10mm/min者。5.如申请专利范围第1项所述的石英玻璃物品之制造方法,其中,以气体透过率为0.1cm2/sec(p:1.5kgf/cm2之数値)以上且压缩强度为100kgf/cm2以上及萧氏硬度为10以上的具有微小气体透过孔群的高纯度石墨材形成上述母模与承受台,一方面,以比上述母模与承受台,弯曲强度大数段之石墨材形成上述石墨框者。6.如申请专利范围第1项所述的石英玻璃物品之制造方法,其中,将上述成形框载置于昇降自如之工作台上,完成上述玻璃体之成形后,将炉内温度保持在所定温度之状态下将工作台下降至炉外位置者。图示简单说明:第一图系表示本发明的实施例之石英玻璃体之加热成形装置的概要图。第二(A)图系表示成形框的剖面图。第二(B)系表示该成形品的斜视图。第二(C)图系表示横型器皿之侧板者。第三(A)图系表示成形框的剖面图。第三(B)系表示该成形品的斜视图。第三(C)图系表示炉芯管之凸缘部者。第四图系表示第二图之成形框的推压状态。第五图系表示在第二图之成形框施以石英盖之状态。
地址 日本