发明名称 Growing an oxide film of a semiconductor device
摘要
申请公布号 GB2308733(A) 申请公布日期 1997.07.02
申请号 GB19960025267 申请日期 1996.12.04
申请人 * SAMSUNG ELECTRONICS CO LIMITED 发明人 YONG-MIN * JUN;JAE-MAN * YANG;SANG-KOOK * CHOI;CHAN-SIK * PARK
分类号 H01L21/31;H01L21/316;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
地址