摘要 |
UN PAR DE ELECTRODOS DE TAMAÑO NO SIMILAR (84, 70) SON GUIADOS POR UNA FUENTE DE RADIOFRECUENCIA PARA CREAR UN PLASMA. UN CAMPO MAGNETICO (100) ESTA ORIENTADO DE FORMA QUE SEA PARALELO A UNA SUPERFICIE DEL ELECTRODO PEQUEÑO (84). LA RESISTENCIA DEL CAMPO AUMENTA EN CUALQUIER LADO DEL ELECTRODO PEQUEÑO (84). SEGUN SE MUESTRA, LOS IONES SE ACELERAN ELECTROSTATICAMENTE FUERA DEL PLASMA, PERO PODRAN ACELERARSE TAMBIEN MAGNETICAMENTE, LOS ELECTRONES PUEDEN EXTRAERSE, ALTERNATIVAMENTE, O NO PODRAN SER UN MECANISMO ACELERADO.
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