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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09172063(A) 申请公布日期 1997.06.30
申请号 JP19950330112 申请日期 1995.12.19
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 YABU TOSHIKI;UEHARA TAKASHI;SEGAWA MIZUKI;NAKABAYASHI TAKASHI;YAMASHITA KYOJI;UKETA TAKAAKI;ARAI MASATOSHI;YAMADA TAKAYUKI;MATSUMOTO MICHIICHI
分类号 H01L21/76;H01L27/08;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
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