PLASMA GENERATING DEVICE,申请号JP19950331988-传众专利搜索

发明名称	PLASMA GENERATING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH09171900(A)	申请公布日期	1997.06.30
申请号	JP19950331988	申请日期	1995.12.20
申请人	TOSHIBA CORP	发明人	TAKI KAORU
分类号	H05H1/46;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
主权项
地址