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发明名称 SUBSTRATE CLEANING EQUIPMENT AND CLEANING OF SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH09171985(A) 申请公布日期 1997.06.30
申请号 JP19950333120 申请日期 1995.12.21
申请人 DAINIPPON SCREEN MFG CO LTD;FUJITSU LTD 发明人 TANAKA SATORU;MORINISHI TAKEYA;MIYAGI MASAHIRO;ITAMI NAOJI;WATANABE KAZUHIRO
分类号 B08B3/02;B08B3/12;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/02
代理机构 代理人
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