| 发明名称 |
METHOD AND DEVICE FOR MAKING COATING FILM CAPABLE OF THICK FILM CONTROL ADHERE TO SIDE FACE AND BOTTOM PART OF HIGH ASPECT RATIO FEATURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09171976(A) |
申请公布日期 |
1997.06.30 |
| 申请号 |
JP19960274500 |
申请日期 |
1996.10.17 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP (IBM) |
发明人 |
HAMAGUCHI SATOSHI;SUTEIIBUN MAAKU ROSUNAAGERU |
| 分类号 |
H01L21/285;H01L21/203;(IPC1-7):H01L21/285 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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