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发明名称 METHOD FOR ETCHING AL ALLOY LAYER
摘要
申请公布号 JPH09171998(A) 申请公布日期 1997.06.30
申请号 JP19950332177 申请日期 1995.12.20
申请人 HITACHI LTD 发明人 MITANI KATSUHIKO
分类号 C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/3213;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/320;H01L21/321 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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