| 发明名称 |
X-RAY ANALYSIS MICROSCOPE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09171100(A) |
申请公布日期 |
1997.06.30 |
| 申请号 |
JP19950331480 |
申请日期 |
1995.12.20 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
KAWANAMI YOSHIMI;HASEGAWA MASAKI;YONEYAMA AKIO |
| 分类号 |
G01N23/227;G21K1/06;G21K7/00;H01L21/66;(IPC1-7):G21K7/00 |
主分类号 |
G01N23/227 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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