发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURING METHOD
摘要
申请公布号 JPH09172017(A) 申请公布日期 1997.06.30
申请号 JP19960231420 申请日期 1996.08.12
申请人 RICOH CO LTD 发明人 FUSE AKIHIRO
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/306 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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