| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09172093(A) |
申请公布日期 |
1997.06.30 |
| 申请号 |
JP19960176894 |
申请日期 |
1996.07.05 |
| 申请人 |
SEIKO INSTR INC |
发明人 |
KOJIMA YOSHIKAZU;OSANAI JUN |
| 分类号 |
H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/06;H01L27/088;H01L27/092;(IPC1-7):H01L21/823;H01L21/823 |
主分类号 |
H01L21/8234 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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