| 发明名称 |
DISCHARGE LAMP AND DEVICE OF VACUUM ULTRAVIOLET RAY SOURCE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH09171799(A) |
申请公布日期 |
1997.06.30 |
| 申请号 |
JP19950331282 |
申请日期 |
1995.12.20 |
| 申请人 |
USHIO INC;SUMIKIN SEKIEI KK |
发明人 |
MATSUNO HIROMITSU;IGARASHI RYUSHI;TAKEMOTO FUMITOSHI;KASAGI KUNIO;NAKAMURA TETSUYUKI |
| 分类号 |
G21K5/00;H01J61/30;H01J65/00;H01J65/04;(IPC1-7):H01J61/30 |
主分类号 |
G21K5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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