SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE,申请号JP19950327680-传众专利搜索

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发明名称	SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH09168939(A)	申请公布日期	1997.06.30
申请号	JP19950327680	申请日期	1995.12.15
申请人	FUJITSU LTD;FUJITSU VLSI LTD	发明人	MAGARA KAZUHIRO
分类号	B23Q7/04;H01L21/50;(IPC1-7):B23Q7/04	主分类号	B23Q7/04
代理机构		代理人
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