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发明名称
FORMING METHOD OF SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPH09172166(A)
申请公布日期
1997.06.30
申请号
JP19960321268
申请日期
1996.12.02
申请人
LE-SENTO TECHNOL INC
发明人
CHIYANNTEIN RIU
分类号
H01L29/78;H01L21/336;(IPC1-7):H01L29/78
主分类号
H01L29/78
代理机构
代理人
主权项
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