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发明名称 MANUFACTURE OF FIELD EFFECT TRANSISTOR
摘要
申请公布号 JPH09172028(A) 申请公布日期 1997.06.30
申请号 JP19950332965 申请日期 1995.12.21
申请人 NEC CORP 发明人 ISHIKAWA MASAOKI
分类号 H01L21/28;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3213;H01L21/338;H01L29/778;H01L29/812;(IPC1-7):H01L21/338;H01L21/306;H01L21/321 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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