发明名称 |
PATTERN GENERATION DEVICE FOR IC TESTING APPARATUS |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09171058(A) |
申请公布日期 |
1997.06.30 |
申请号 |
JP19950349679 |
申请日期 |
1995.12.21 |
申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
FUKUZAKI TADASHI;SATO YUICHI |
分类号 |
G01R31/3183;(IPC1-7):G01R31/318 |
主分类号 |
G01R31/3183 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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