发明名称 |
SCANNING TYPE ELECTRON MICROSCOPE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH09171791(A) |
申请公布日期 |
1997.06.30 |
申请号 |
JP19960275837 |
申请日期 |
1996.10.18 |
申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TODOKORO HIDEO;ESUMI MAKOTO |
分类号 |
H01J37/22;H01J37/04;H01J37/141;H01J37/145;H01J37/147;H01J37/244;(IPC1-7):H01J37/04 |
主分类号 |
H01J37/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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