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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH09172067(A) 申请公布日期 1997.06.30
申请号 JP19950268729 申请日期 1995.10.17
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 TSUTSUMI TOSHIAKI
分类号 H01L23/522;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/768 主分类号 H01L23/522
代理机构 代理人
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