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发明名称 Verfahren zur Herstellung von Halbleiterbauelementen mit Floatinggates
摘要
申请公布号 DE69126156(D1) 申请公布日期 1997.06.26
申请号 DE19916026156 申请日期 1991.03.13
申请人 KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA, KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 SAKAGAMI, EIJI, C/O INTELLECTUAL PROPERTY DIVISION, MINATO-KU, TOKYO 105, JP
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L27/115;H01L29/08;H01L29/10;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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