发明名称 Verfahren und Gerät zur Bearbeitung mittels Mikrowellenplasma
摘要
申请公布号 DE69123808(T2) 申请公布日期 1997.06.26
申请号 DE19916023808T 申请日期 1991.09.24
申请人 HITACHI, LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 KANAI, SABURO, HIKARI-SHI, YAMAGUCHI-KEN, JP;KAWASAKI, YOSHINAO, KUMAGE-GUN, YAMAGUCHI-KEN, JP;ICHIHASHI, KAZUAKI, KUDAMATSU-SHI, YAMAGUCHI-KEN, JP;WATANABE, SEIICHI, KUDAMATSU-SHI, YAMAGUCHI-KEN, JP;NAWATA, MAKOTO, KUDAMATSU-SHI, YAMAGUCHI-KEN, JP
分类号 H01J37/32;(IPC1-7):H01J37/32 主分类号 H01J37/32
代理机构 代理人
主权项
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